微流量气体质量流量传感器CAFS3000系列描述CAFS3000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种清洁、相对干燥性微小流量气体的测量和过程控制使用，特殊的封装技术使得相同口径下的产品可以满足不同范围的流量测量，同时确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。产品应用十分广泛。特点：供电范围宽：8-24V精度高：（1.5%FS满量程）线性输出和无需温度补偿长期稳定性好固态传感核心（无表面空洞或易碎膜），抗堵塞和压力冲击模拟输出1-5V或者I2C数字输出快速响应时间（可选9ms）流量范围宽0sccm-2000sccm能够适应于相对潮湿性气体测量传感器可耐冷凝水典型应用：制氧机呼吸器喷雾器持续气道正压通气设备分娩检漏光谱仪质量流量控制器通讯系统环境气候控制)