超声波扫描显微镜 芯片分层检测V300E
德国公司的超声波扫描显微镜(扫描频率可以达到2G).扫描分辨率0.1微米.扫描范围为0.2mm*0.2mm.其主要是针对半导体器件,芯片,材料内部的失效分析.其可以检查到:1.材料内部的晶格结构,杂质颗粒.夹杂物.沉淀物.2.内部裂纹.3.分层缺陷.4.空洞,气泡,空隙等.超声波扫描显微镜和X射线机区别:SAT为分层扫描.X射线为透射扫描.V300E超声波扫描显微镜1~500MHz●快速的超声波频率设置●全新的操作软件简单易用●紧凑的模块化设计●广泛应用于半导体工业,材料测试,生命科学等领域失效分析:性能参数:●频率范围:1~500MHz●换能器选择:5~400MHz●扫描范围:0.2×0.2mm●扫描速度:1500mm/秒●扫描机构分辨率:0.1μm●扫描模式:A,B,C,D,G,X,3D主要应用范围:·晶元面处脱层·锡球、晶元、或填胶中之裂缝·晶元倾斜·各种可能之孔洞(晶元接合面、锡球、填胶…等)·覆晶构装之分析C-SAM的主要特性:无损伤检测内部结构可分层扫描、多层扫描实施、直观的图像及分析缺陷的测量及百分比的计算可显示材料内部的三维图像可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞、晶界边界等)C-SAM的主要应用领域:半导体电子行业:半导体晶圆片、封装器件、红外器件、光电传感器件、贴片器件、MEMS等;材料行业:复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等;超声波扫描显微镜C-SAM(SAT机器欢迎来电北京京瀚禹电子4台,比亚迪3台,万年芯,鑫洲芯,平晶微,合科泰,重庆华润,长电,沈阳铁路,北京铁路,航天八院,13所,北航杭研院等)
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