实验室气路安装设计22、气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体**时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。3、实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，管道置换氮气，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。实验室气路安装5气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（OrbitalWelding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metaltometalfaceseal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及**气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10-9cc的氦气泄漏率（LeakageRate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，长输管道氮气置换，因为大多数的**气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。(1)管道系统全部按设计文件施工完毕;(2)管道安装位置正确，数量齐全，紧固程度、干燥质量合格;(3)施工前应对管线、阀门、设备进行检查，燃气管道氮气置换氧含量，其开闭状态应符合要求，管道设备不准同时进行其他作业(4)在施工现场立氮气警告标志，未经许可人员禁止入内(5)氮气置换首末端要采用大范围警示带提醒，如无法避免交叉作业时，应佩戴便携式气体检测仪(6)有足够的空间摆放设备，管道氮气置换，空压机连接制氮设备稳固。氮气出口连接位置正确，标志明显。检查所有软管，管件、接头和阀门的正确压力等级。控制和保护注气管和软管的安全(7)用于检测管道末端氮气及氧气浓度用的气体分析仪的量程、精度等级、检定其符合要求，并备有当前校验证书。(8)有经批准的氮气置换方案，施工人员经过技术交底。(9)对氮气置换前由于其它原因导致尾项遗留的要在检查中填写尾项记录，和相关人员确认签字，尾项消项后要经过确认。管道氮气置换-念龙化工-燃气管道氮气置换氧含量由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司是从事“高纯气体生产,标准气体经营,混合气体生产”的企业，公司秉承“诚信经营，用心服务”的理念，为您提供高质量的产品和服务。欢迎来电咨询！联系人：张经理。)