反应离子刻蚀反应离子腐蚀技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，大样片离子束刻蚀机，利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀，即是利用离子能量来使被刻蚀层的表面形成容易刻蚀的损伤层和促进化学反应，大样片离子束刻蚀机安装，同时离子还可清除表面生成物以露出清洁的刻蚀表面的作用。但是该刻蚀技术不能获得较高的选择比，对表面的损伤大，有污染，难以形成更精细的图形。本产品信息有创世威纳提供，如果您想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询！离子束刻蚀离子束刻蚀是利用具有一定能量的离子轰击材料表面，使材料原子发生溅射，从而达到刻蚀目的.把Ar、Kr或Xe之类惰性气体充入离子源放电室并使其电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，具有一定能量的离子束进入工作室，射向固体表面撞击固体表面原子，使材料原子发生溅射，达到刻蚀目的，属纯物理过程。离子束刻蚀机离子源的主要参数有：①离子束流强。即能够获得的有用离子束的等效电流强度，大样片离子束刻蚀机工作原理，用电流单位A或mA表示。②有用离子百分比。即有用离子束占总离子束的百分比。一般来说，离子源给出的总离子束包括单电荷离子、多电荷离子、各种分子离子和杂质元素离子等的离子束。③能散度。由于离子的热运动和引出地点的不同，使得离子源给出的离子束的能量对要求的单一能量有一定离散，一般希望能散度尽量小，在的离子束应用中尤其是这样。④束的聚焦性能。以离子束的截面和张角表示。聚焦不好的离子束在传输过程中会使离子大量丢失。获得良好聚焦特性的离子束的终障碍是束中离子之间的静电排斥力，为了克服这一障碍，应尽早使离子获得较高能量。⑤离子源的效率。以离子束形式引出的工作物质占总消耗的工作物质的比例。⑥工作寿命。离子源一次安装以后使用的时间。大样片离子束刻蚀机生产厂家-大样片离子束刻蚀机-创世威纳科技由北京创世威纳科技有限公司提供。“磁控溅射镀膜机,电子束/热阻蒸发机,ICP,RIE,IBE”就选北京创世威纳科技有限公司，公司位于：北京市昌平区回龙观北京国际信息产业基地高新二街2号4层，多年来，创世威纳坚持为客户提供好的服务，联系人：苏经理。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。创世威纳期待成为您的长期合作伙伴！)