实验室气路安装3（1）性气体把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧**性就越高，如B2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H2，NH3，PH3，DCS，ClF3。（2）毒性气体（ToxicGas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对****、**的。其中又以AsH3，B2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（ThresholdLimitedValve）分别只有50×10-9，100×10-9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO，***F6，C5F8，NF3，CH3F等都属于毒性气体。（3）腐蚀性气体（CorrosiveGas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl，HF，PCl3，SiF4，ClF3，WF6等。（4）惰性气体(InertGas)：隋性气体本身一般不会直接对**产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2F6，CF4，SF6，CHF3等。（5）氧化性气体（OxideGas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3，Cl2，NF3等。2储罐系统干燥及置换施工准备储罐系统及现场施工准备干燥及置换前，与干燥及置换相关的所有储罐系统应完工，且必须经各相关单位等联合检查，并签字确认。(I）储罐安装、罐内接管安装、保冷安装、珍珠岩填充、罐内接地、仪表回路等工作完成确认g(2）完成低压泵安装工作，对储罐进行封闭确认：(3）安全阀和*真空阀按规定调校完毕并上报相关资料其隔离阀锁开。现场施工其它工作准备(I）现场确保储罐顶部、楼梯和地面有充分照明以便夜间操作g(2）氮气干燥和l置换区域周围设置标志，禁止未**人员进入置换现场z(3）所有阅门按氮气干燥和置换要求挂牌标识状态，必要时上锁保护。临时液氮气化系统的安装准备(I）液氮储罐的安装，按一般静置设备基本要求进行，管道氮气置换，保证设备的垂直度符合要求；(2）临时气化器、加热器安装s3）临时液氮气化系统管线安装及与系统氮气相连管道安装；(4）整个临时系统管线的压力试验符合要求。干燥和置换工艺流程及区域划分工艺流程液氮气化系统的安装→l临时氨气管线安装→液氮气化→储罐A区置换→储罐B区置换→储罐C区置换→储罐D区置换→储罐进行加减压干燥置换→干燥和置换合格确认储罐内部置换区域划分2.2.1“压力－时间”图分析储罐系统下燥和置换先是对储罐八区连续的充进氮气连续升压到约4kPa，然后罐顶部开始排放，再连续的调节内罐A区底部充气及拱顶A区顶部排放的状态下，缓慢升压至约8.5kPa时，稳压，保持进气与排气基本相同，连续干燥及置换约24h。在72h至270h干燥和置换区间段内采用了压涨式置换方法进行施工，使压力控制在10(±J)kPa左右，直至储罐干燥和置换达到质量标准要求。在270h至330h区间段时对罐内进行二次加减压排放的方式的干燥和置换，管道置换氮气，罐压力升至I5kPa后关闭所有排放，静琶!Oh后，再以缓慢速度至5kPa，加强巩固储罐系统干燥和置换的效果。储罐系统整个干燥和置换过程共计使用了约330h，创造了国内同类工程施工的新纪录，系统整个干燥和置换共计使用液氮量约l320t。5.2.2“氧含量一时间、摇点－时间”图分析在开始干燥和l置换的前70h的时间中，氧含量下降到约为12%，跟点下降相对较为连续稳定在5.0左右时，连续连续干燥及置换的方式效果已不能满足施工的要求，及时调整为压涨式的方法后，系统在每一轮的升压与泄压过程中逐渐接近质量合将标准，在干燥必置换270h之后进行二次加减压排放，燃气管道氮气置换氧含量，氧含基本稳定，在合格的甚而上有微小降低，会随着次加压升高而升高，排放时降低，前雨加压会有反复一定范围的波动，说明储罐在干燥及置换时气体内部混合交换不均匀，在第二次加减压排放后压力降低有一到5kPa时与加压时高压点时的摇点基本相同，保持了稳定。达到了强制加强的效果。由此可见，在施工中增加l一定范罔的压力及压涨的次数对干燥和置换的效果较为明显。但这会增加液氮的使用及置换的整体时间。管道氮气置换-念龙化工-管道置换氮气由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支技术过硬的员工**，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。念龙化工——您可信赖的朋友，公司地址：郑州市二七区马寨镇东方路7号院内，联系人：张经理。)