实验室气路安装3（1）性气体把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧**性就越高，如B2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H2，NH3，PH3，DCS，ClF3。（2）毒性气体（ToxicGas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对****、**的。其中又以AsH3，B2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（ThresholdLimitedValve）分别只有50×10-9，100×10-9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO，***F6，C5F8，NF3，CH3F等都属于毒性气体。（3）腐蚀性气体（CorrosiveGas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl，HF，PCl3，燃气管道氮气置换，SiF4，ClF3，WF6等。（4）惰性气体(InertGas)：隋性气体本身一般不会直接对**产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2F6，CF4，SF6，CHF3等。（5）氧化性气体（OxideGas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3，Cl2，NF3等。实验室气路安装设计11、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在天花板下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，**试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一起，天燃气管道的氮气置换，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高质量的不锈钢制成，所有气体管路有合适的接地保护措施。重视配管防尘，做好配管施工的清沽管理，对防尘的措施可能想出多种，必须从实际工作做起省先在切断，洗净，焊接后等作业结束时利用塑料薄膜或盲盖封好，而直至使用时再次打开不要放在灰尘发生的地方或室外切断后切屑婆立即去除阀门的开闭要迅速，一般应以关闭状态每天工作结束应将现场打扫干净，尽盘防止尘埃侵人获配管的试验、检查和分析配管连接完工以后，管道氮气置换，终工序之一的耐压试验和气密性试验以及检查和分析，其一，般程序如图所示飞气密性和耐压试验基本应为同时并用试验，试验条件以气密性试验的小时放置及耐压试验的设计压力倍进行同时进行用检漏液肥皂泡试验的发泡确认另外，通过温度补偿的压降残余压力率的标准即以上为合格关于配管洁净度尘埃测定应为利用实际气体滁外的测定，基本上实施设备连接取出用初级侧阀门总数的测定，求出平均值以判定是否合格但在阀与测试仪器连接中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。至于和含氧量及其它杂质的分析，在有纯化装的场合应以纯化器出口指标为基准在没有现场分析仪的，可通过取样瓶取样送验。但取样瓶必须沽净并在充灌时予叔充分里换遴免任何形式的沽污，以确保其实际值全部试验合格后，’还应对配管介质标注名称和流向一般不锈钢配管不涂漆，管道氮气置换，但非不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收三、高纯气体输送系统的管理高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大的**和精力，更重要的它对生产工艺和产品合格率的影响是巨大的，要使高纯化系统持久地发挥效益，必须重视和加强对它的管理。有条件的，建立系统的气体分析盘或监控盘，用以监视系统的流食，压力，礴点及含氧盈及凡以及装置的工作情况和异常报警，以便有问题时及时发现，及时调整建立和健全值班记录制度，对系统和装置运行工况进行记录。定期对系统终端使用端进行念龙化工(图)-燃气管道氮气置换-管道氮气置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支技术过硬的员工**，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。念龙化工——您可信赖的朋友，公司地址：郑州市二七区马寨镇东方路7号院内，联系人：张经理。)